设备简介

运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器，设备简单、操作方便，精确度高，对样品的形状无严格要求。可用于测试硅晶片及扩散层、外延层、ITO导电薄膜、金属薄膜等材料的电阻和方块电阻。

主要功能

可用于测试硅晶片及扩散层、外延层、ITO导电薄膜、金属薄膜等材料的电阻和方块电阻。

应用领域

可用于测试硅晶片及扩散层、外延层、ITO导电薄膜、金属薄膜等材料的测试。