制氢材料与氢能产品

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设备列表

表面轮廓仪 D-120

仪器名称

表面轮廓仪

仪器品牌

KLA tencor

仪器型号

D-120

仪器类别

物性测量

技术指标

项目指标/参数
最大垂直测量范围1.9 mm
低触力0.03 ~ 10 mg
最大扫描长度30 mm
最大样品厚度20 mm
重复精度0.6 nm 或者 0.1% 台阶高度

设备简介

支持台阶高度和粗糙度的2D测量。 创新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量,大垂直范围和低触力测量功能。

主要功能

用于薄膜、图层厚度、表面粗糙度、形貌、2D薄膜应力、2D弯曲度和形状等参数的测量。可进行材料的显微组织形貌分析,对晶体结构进行观察和分析。

应用领域

材料分析与检测,表面成像,表面粗糙度测试,颗粒度测试,表面结构检测,多孔材料分析。

典型服务案例

  • 检测质子交换膜燃料电池中气体扩散层炭纸的粗糙度
  • 检测金属材料的表面颗粒度

主要服务列表

  • 上海氢程科技有限公司