设备简介

该设备将高分辨率场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）的成像和分析性能与新一代聚焦离子束（FIB）的加工能力相结合，使用 Gemini 电子光学系统从高分辨率扫描电子显微镜（SEM）图像中获取真实的样品信息。​

主要功能

• TEM样品制备

• 二维与三维表征

• 纳米加工

典型服务案例

其它

该设备适用于上海科技创新券。